二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #9205766 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus
ID: 9205766
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
PECVD System, 6" 1996 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 Plus是设计用于实验室和研究设施的最先进的蚀刻和灰化设备。该系统设计用于半导体材料、微电子器件和MEMS器件的精密蚀刻和灰化。它能够加工金属、石英、硅、玻璃、陶瓷和聚合物等多种基材。该单元利用低成本射频电源在真空室中创建高密度、低压、感应耦合等离子体(ICP)源。ICP源随后用于蚀刻和去除基材的预定部分。Plasmalab 100 Plus极大的灵活性让使用者可以根据基材类型和所需的规格自订蚀刻和灰化工艺。该机采用先进的电容式工艺控制器,配备压力、温度、频率、气流等几个参数。高级工艺控制器可用于微调蚀刻参数,以达到所需的效果。OXFORD Plasmalab 100 Plus带有一个直观的用户界面,允许用户精确选择所需的蚀刻参数并启用过程的自动操作。该工具还包括压力读出和数字计时器,以方便用户。该资产具有湿蚀刻功能,以及用于控制多个蚀刻过程的界面。该型号设计方便维护,具有耐用的不锈钢设计。该设备还采用高效除尘系统,减少工作环境中的空气传播颗粒和危险废物。Plasmalab 100 Plus是一个先进可靠的蚀刻和灰化装置,为用户提供可靠的结果。该机具有精确的控制和直观的用户界面,非常适合实验室研发应用。
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