二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #9274966 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus是一款先进的蚀刻器/asher，设计用于现代半导体加工的精度和可重复性。它具有先进的触摸屏交互操作以及全方位的功能和功能选项。这台机器具有许多不同的工艺，包括氧化物铣削、深蚀刻、泥浆蚀刻和快速的天然氧化物去除。从钛到铝和铜的任何金属都能提供优异的效果。Plasmalab 100 Plus是高速精密加工薄膜表面的理想工具。该机器由标准110V或220V电源供电，并利用直流电源最大限度地控制等离子体过程和可重复性。它具有很大的工作面积-高达110毫米X 110mm,在0.1 μ米的Z轴上具有可重复的精度和分辨率。OXFORD Plasmalab 100 Plus的设计可在7-30mT的最佳压力范围内工作,最高温度为300 °C。等离子体发生器的频率是可调的，峰值功率高达250W。Plasmalab 100 Plus具有一个可调节的阶段,它可以检测到微小的亚微米样品偏移,并允许通过最大限度地减少对样品的任何潜在损害来轻松优化过程。它还具有特殊的平坦舞台表面设计，以防止由于蚀刻或灰烬操作而造成潜在的样品扭曲。机器背面装有捕获臂系统，便于样品和基板装卸。OXFORD Plasmalab 100 Plus包括一套专为易于控制机器功能而设计的软件。它具有预配置过程库,可快速、方便地设置蚀刻和灰化操作。软件还允许自定义流程设置以及单个流程的保存和召回。Plasmalab 100 Plus专为实验室和生产用途而设计,为各种蚀刻和灰化操作提供卓越的效果。它具有坚固的结构,占地面积小,设计轻巧,便于在实验室或生产环境中安装。OXFORD Plasmalab 100 Plus的高品质设计和先进特性，以精确的控制和可重复的性能提供卓越的效果。