二手 OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293649661 待售

OXFORD Plasmalab 133-ICP 380
ID: 293649661
System Dual chamber.
OXFORD Plasmalab 133-ICP 380是一种等离子体蚀刻器/asher,广泛应用于表面工程和制造。它是一种高度可靠和具有成本效益的设备,可用于各种基板上的各种类型的表面工艺。OXFORD PLASMALAB 133 ICP380是一种感应耦合等离子体(ICP)蚀刻器/灰化器,它使用一种活性气体溷合物-通常是氧气、氮气和氙气-来蚀刻和/或清洁表面。ICP蚀刻器利用感应耦合RF场产生的反应性离子束来修改基板的表面性质,控制粗糙度、形态等性质。该系统具有较高的等离子体密度,可产生较高的蚀刻速率,并进行了优化,以尽量减少表面的电荷积累和污染。PLASMALAB 133 ICP 380的总压力范围为0.1-10 mtor,并配有数字步进电机控制气体流量计,用于精确气体输送。高效的气体输送装置能够精确控制蚀刻过程,确保在各种条件下均匀蚀刻。该机还配备了嵌入式界面,为用户提供易于使用的图形用户界面,以监控和控制蚀刻性能和蚀刻条件。Plasmalab 133-ICP 380是一个理想的脚手架为一系列的表面工程应用。它非常耐用,多年来提供一致的蚀刻性能。基于非接触和非热处理的等离子体处理确保了良好的表面特性,并产生一致的结果。基板温度控制和反馈工具可实现精确、均匀的表面特征。此外,集成光学器件可直接监控蚀刻过程,从而实现均匀性和过程重复性。最后,利用等离子体加工功能可以应用涂层和沉积材料。总体而言,PLASMALAB 133-ICP 380是一个可靠和通用的工具,使蚀刻和清洁过程能够得到极精确的控制和监测。资产的统一蚀刻、高度耐用的构造和全面的图形用户界面使其成为广泛的表面工程和制造需求的绝佳选择。
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