二手 OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293690524 待售
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OXFORD Plasmalab 133-ICP 380是一款先进的蚀刻器/asher,旨在实现一系列材料的高精度微加工。它采用变频ICP电源，额定功率高达380 W，能够产生快速的溅射蚀刻速率，提供优异的工艺重复性和提高的吞吐量。该设备具有双等离子体功能，能够实现标准的反应性离子蚀刻（RIE）和远程等离子体蚀刻（RPE）技术。OXFORD PLASMALAB 133 ICP380配备了真空室和抽水系统，让用户达到非常高的真空水平。该单元还提供了一个开载锁定工艺室设计，允许快速和可靠的蚀刻协议。该机器包括一个小巧的、低成本的ICP电源,无需外部电源。这提供了较长的服务寿命和强大的性能。此外，PLASMALAB 133 ICP 380还配备了完全可定制的气体输送工具，确保了对蚀刻过程的全面控制。这包括各种自动阀门控制和计量装置，以及可以远程监测和调整的多通道气体控制资产。这确保了过程的可重复性和可重复性。板载软件包使用户能够在过程中监视、控制和记录所有关键蚀刻和沉积参数。此软件包与IPC实验室管理模型完全兼容,允许对复杂的实验进行长期监控。最后，OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380还配备了一系列安全功能，如自动关闭开关和清洗设备。这样可以确保操作过程中的高度安全,防止事故和污染。总体而言,PLASMALAB 133-ICP 380是一款高级蚀刻器/asher,旨在提供最大程度的过程控制、精度和吞吐量。
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