二手 OXFORD Plasmalab 133 Plus #293760250 待售

OXFORD Plasmalab 133 Plus是一种等离子体蚀刻/灰化设备，用于工业级蚀刻和灰化应用。它将大功率微波等离子体源与先进的蚀刻和灰化技术相结合。该系统基于200毫米等离子体处理器，能够产生高分辨率的热和等离子体工艺结果。该单元提供了广泛的各向异性控制，允许其用户实现非常精确的蚀刻和灰化结果。Plasmalab 133 Plus提供了广泛的功能。它具有1200 µm的均匀性分辨率，可以用于高长宽比的加工材料。它能够以非常高的精度掺杂/展开厚度高达200 nm的层。再者，配备了多种铝铜沉积、阳极氧化、丝网印刷、自旋上非导电电介质、溅射蚀刻等交替工艺来源。在安全方面，OXFORD Plasmalab 133 Plus的设计符合严格的安全标准。它具有Interlock-Net安全系统,可监控压力、温度和安全参数,并确保连续安全运行。此外，它还有一个低端排气管理机器，可以减少有害材料的影响，并有助于确保遵守环境法规。在生产力方面，Plasmalab 133 Plus提供高达700晶圆每小时的高吞吐量。还配备了自动化工艺参数、工艺配方编程、晶圆级条件监控等高级工艺控制功能。此外,它还包含一个图形用户界面,允许用户查看各种流程指标。OXFORD Plasmalab 133 Plus是半导体行业先进且反应灵敏的蚀刻和灰化工具。它采用了一套令人印象深刻的功能和工具,使用户能够以最小的努力实现非常精确的结果。