二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus-M #293604357 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus-M是一种蚀刻器/asher设备，设计用于在低压等离子体环境中快速产生细线蚀刻和灰烬。该系统是一个完全自动化和高度通用的单元，能够处理各种形状和大小的基板。该机器由一个真空室和一个气体输送工具组成，直接连接到几个气源，允许维持多种工艺条件。Plasmalab 80 Plus-M利用由高频电源供电的电容耦合等离子体（CCP）源实现蚀刻和灰化过程。可以使用一系列气体，包括氧气、氮气、氙气、碳氟化合物和碳氢化合物，以及一系列压力和功率水平，以利于高分辨率蚀刻和灰化。该资产配有可编程转盘，可以方便地装载和处理多个基板。通过嵌入式Arduino微控制器的对称沉积屏蔽增强了沉积均匀性，以实现精确的气流控制。通过线圈淬火技术和快速循环时间，使模型的能量利用率最大化，可低至30毫秒，此外，设备还配备了监测系统，以监测沉积条件、腔室温度和清洁度。OXFORD Plasmalab 80 Plus-M是高精度、可靠和可重复工艺结果的理想解决方桉。