二手 OXFORD Plasmalab 80 #293630465 待售

OXFORD Plasmalab 80是一种最先进的蚀刻和灰化设备,能够处理晶圆、封装模具和高宽高比基板。这一高度发展的系统是市场上为数不多的具有200毫米高长宽比卡盘的系统之一，能够为微量和纳米结构的蚀刻、灰化和等离子体清洗提供所有必要的参数。Plasmalab 80的核心是一个附加的工艺室，利用一种新型的数字扫描仪进行均匀的工艺分布，并利用一个多点压力控制单元进行精确的压力设置，以实现一致的蚀刻和灰化结果。该机还具有高功率射频等离子体源，它提供了大量的等离子体动力，以实现高等离子体密度的关键蚀刻、灰化和清洁任务。平台的8英寸容量允许快速循环时间和提高吞吐量，而单位的250公斤双门工具则提供了增强的晶圆操控和提高的安全性。此Plasmalab模型还具有处理多种基板类型和尺寸的功能,允许用户在处理不同基板时增加吞吐量并减少停机时间。资产的所有组件都设计为相互协作,以实现温度敏感过程的精确温度和压力控制。这确保了各种应用程序的可重复性和高收率。用户友好的设计具有高度直观和客户友好的特点,使模型易于使用。Plasmabab 80是一款功能强大的蚀刻器和asher解决方桉,可为高性能研发实验室带来卓越的生产力和质量。这个尖端的Plasmalab模型还提供了一个全面的配方库，让每一个操作员找到适合任何种类材料的工艺。