二手 OXFORD Plasmalab 80 #293647911 待售

OXFORD Plasmalab 80是一种可靠的高性能蚀刻器/asher真空设备,非常适合各种实验室应用。该系统一次可以在一个或两个基板上蚀刻或灰烬单层或多层样品。它还提供了可供选择的工作气体的多种选择，允许用户定制其加工条件，如蚀刻或灰度时间、温度、功率和压力设置等等。Plasmalab 80具有易于访问的处理室和直观的触摸屏界面,可实现快速高效的设置。该腔室的尺寸约为200毫米深x 400毫米宽x 150毫米高，可在真空或压力模式下安全操作。该腔室还具有顶部安装的射频阴极和平面感应线圈，使蚀刻和灰化功率得到最佳分配。此外，该腔室还配备了一个气体入口、一个气体废气和一个真空阀，可单独控制，以便精确设置。OXFORD Plasmalab 80具有高分辨率的彩色触摸屏显示屏，便于参数设置和直观的用户界面。该单元支持从直流或射频平面蚀刻/灰化到感应耦合等离子体蚀刻或高温退火等多种工艺条件。此外，Plasmalab 80还配备了Langmuir探头，用于工艺室的诊断和温度控制。OXFORD Plasmalab 80是一种高度精确的机器，可以预先设定为重複相同的蚀刻和灰化过程，让使用者以最少的输入达到可重複的结果。此外，该工具还包括一种用于减少纳米颗粒污染的惯性气体清洗资产，以及可扩展的模式发生器软件以方便地修改模式。总体而言，Plasmalab 80是一种简单可靠的蚀刻器/asher真空模型，非常适合用于研发、蚀刻、灰化和退火等任务。对于寻求可靠、高性能、便于快速处理和可重复结果的设备的实验室来说,这是一个极好的选择。