二手 OXFORD Plasmalab 80+ #293812515 待售

OXFORD Plasmalab 80+是一款功能强大、用途广泛的基于多频、多模式射频源系统的蚀刻/asher设备。其内置的80 MHz射频源可实现各种材料的精确、可重复的蚀刻和灰化工艺。其经现场验证的双频单元具有为每个蚀刻和灰化序列选择准确能量量的能力，允许更大的灵活性和可重复、可靠的结果。Plasmalab 80+具有高度的可编程性，具有用户友好的彩色触摸屏显示屏，便于选择和监控参数。它具有多达八个独立控制的射频等离子体区域，每个区域都有自己的电源、矢量温度控制和综合参数集，以优化蚀刻和灰化过程。OXFORD Plasmalab 80+可以加工多种基材，包括玻璃、硅片、金属、塑料甚至石英。该机还提供一系列电源配置，允许用户调整功率和频率，以适应不同的材料。Plasmalab 80+还包括一些专门的处理，以熟练蚀刻和灰烬样品，包括表面平滑，表面钝化和退火，使用多个电源和CO2等离子体蚀刻。当与etcha或asher一起使用时,蚀刻和ashing过程可以完全自动化。自动化过程可以显着减少样品蚀刻和灰化所需的时间和工作量。OXFORD Plasmalab 80+具有一系列安全功能，包括自动关闭等离子体源、射频互锁、工具监控和过电流保护。资产也受到远程监控,因此操作员可以确保其样本得到安全处理。Plasmalab 80+是为实验室和工业应用而设计的先进、通用的蚀刻器和asher模型。它提供了可靠、可重复的蚀刻和灰化工艺,具有广泛的基板、用户定义的参数、自动化处理和安全功能。OXFORD Plasmalab 80+是任何精密蚀刻和灰化任务的理想设备。