二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293606951 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款先进的、高精度的光学面罩对准蚀刻器和asher。设计用于生产微电子器件和光子元件。Plasmalab 800 Plus为掩模对准器应用提供了一个通用工具，允许用户使用单个设备进行蚀刻、无功离子蚀刻、粉刷和清洁集成电路层。OXFORD Plasmalab 800 Plus设计有一个大的加工室，允许原型制作和生产利用光学遮罩对准技术的设备。该腔室能够在受控真空环境中进行蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、灰化、真空沉积和其他过程。光学蒙版对准器采用了全圆可从镜扫描机构，提供了光学图样蒙版与蚀刻基板的稳定、高分辨率对准。此外，系统还利用了强大的晶圆船，允许基材和口罩快速准确的定位。除了基本的蒙版对齐和蚀刻功能外，Plasmalab 800 Plus还提供了高级功能。该单元采用受控的RIE工艺,以确保整个基板上蚀刻特征的均匀性。该机器还能够严格控制臭氧、氧气和氮气的清洁过程，使用户可以使用单一工具清洁和加工设备。此外，资产还允许用户部分蚀刻具有蚀刻选择性的工艺层。最后，OXFORD Plasmalab 800 Plus利用直观的用户控制模型，允许用户快速编程各种过程参数，实时监控蚀刻过程。这些功能允许利用光学掩蔽技术快速、高效和经济高效地生产设备。