二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293615031 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是业界领先的蚀刻器/asher,旨在为各种工业、研发蚀刻和灰化项目的生产提供高速和精确度。该机由一个等离子体室、一个盖子升降机、带有电源的开放式、封闭式和离子束源、一个数字控制器和射频发生器单元、一个远程接口和一个等离子体处理室组成。等离子体腔室由高抗性陶瓷基材料制成，能够承受高达180 °C的等离子体和温度。这与集成的盖子升降机相结合，能够优化等离子体腔室的进入和完整的样品装载和卸载直径达200毫米的基板。控制面板、电容传感器和其他安全功能确保设备能够在全自动模式下安全运行。蚀刻器/asher结合独特的脉冲功率技术使用先进的富氮等离子体和离子束。因此，这种技术的组合使得能够完全控制蚀刻和灰化工艺参数，如温度、压力、时间和功率。数字控制器和射频发生器还具有用于端点检测的可编程值和诊断功能,即使在最精细的基板上也能实现精确的蚀刻和灰化结果。开放式和封闭式源具有最大50 W的负载和直径最大为6英寸的加工腔室。离子束源具有高达15keV的光束能量和高达每单位50A的电源。流程周期最多可编程100个顺序流程,并且可以存储以供将来使用。远程接口允许对所有机器操作和过程参数进行远程控制,从而确保快速轻松地设置蚀刻器/asher,以及更高级别的可重复性和精度。总体而言,Plasmalab 800 Plus 蚀刻器/asher是一种先进的高性能工具,可为工业和研究目的提供可靠的蚀刻和灰化工艺。蚀刻器/asher提供卓越的自动化和精确度,可实现一致和高质量的结果以及可靠的重复性和一致的结果。OXFORD Plasmalab 800 Plus具有直观、易用且用途广泛的设计,是一款可靠、创新且自给自足的蚀刻器/灰版,可满足您的所有蚀刻和灰版要求。