二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293620207 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus 蚀刻器/asher是一款高性能、经济高效的蚀刻和灰化设备，专为微电子和研究行业的应用而设计。它7.5升的大工作量允许用户一次蚀刻和粉刷多达四个晶片，而3 mTorr的低基压使得它适合各种蚀刻和粉刷工艺。Plasmalab 800 Plus具有先进的电子系统,具有直观的用户界面,允许用户配置和定制其蚀刻和灰化过程。这包括一个配方编辑器，使用户能够设置他们的蚀刻和ashing参数，并调整他们的特定要求。单元中的集成质量流量控制器确保气体流量始终以适当的比例和正确的纯度添加。OXFORD Plasmalab 800 Plus为包括氧化物蚀刻、钝化和活化在内的一系列应用提供多种蚀刻和灰化化学。它的三室设计允许多种蚀刻配置，有几种工艺选项，包括感应耦合等离子体源和辉光放电源。此外,该机器还提供了多种其他有用的功能,例如用于晶圆对准的眼睛安全激光源、用于样品对准的手动源以及专用的灰化室。该工具可以使用OXFORD Plasmalab IC软件以全自动模式操作，该软件为用户提供对其蚀刻和灰化序列的完全控制。该软件使用户能够设置自己的配方并实时监控流程，并具有各种可以根据自己需求定制的报警和安全功能。总体而言,Plasmalab 800 Plus为用户提供了一种可靠且经济高效的方法来精确地蚀刻和粉刷材料。其先进的功能、直观的用户界面和自动化的功能使其成为微电子和研究行业中许多应用的绝佳选择。