二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293813769 待售
网址复制成功！
单击可缩放
OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款高级蚀刻器/asher，用于加工多种材料，特别是薄膜等具有高精度金属化性能的材料。其卓越的性能和精确度使其成为各种工业和研究应用的理想选择。该机配备7厘米晶圆容量，适合大规模样品处理。它提供低压或双压系统的选择，提供高速率的基板蚀刻和灰化，具有最大精度和高可重复性。晶圆尺寸范围可以从100-300毫米调整，使其能够从微米到微米进行处理。该机器既包括高压电源，也包括等离子体电源，实现了一系列的等离子体过程，并提供了最通用、最一致的结果。这使得它能够进行精密蚀刻和灰化，以满足苛刻的要求。它还提供高达500 °C的温度控制、高达3 Torr的工作压力和高达1 kW的射频功率选项。Plasmalab 800 Plus还装有自动化的装卸系统，允许用户同时装载多个样品，方便在它们之间切换。它还提供了广泛的可自定义参数,以最适合工作的特定要求。该机还配有空气冷却系统，使得实现安全、均匀的蚀刻或灰化过程成为可能。该机适用于包括Al、Ti、Au在内的多种材料，质量或可靠性均无降解。OXFORD Plasmalab 800 Plus的用户友好界面轻松集成了一系列外部数据库和工具路径，使处理更加轻松高效。该系统还提供一系列诊断,使用户能够深入了解系统,从而提高流程安全性和可靠性。总而言之，Plasmalab 800 Plus是一系列要求苛刻的蚀刻工作的理想选择。它具有多种功能、强大的设计和令人印象深刻的性能,是专业用户的绝佳选择。
还没有评论