二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9250156 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款高级蚀刻器和asher，专门设计用于实现可重复蚀刻速率和均匀蚀刻的表面，即使在具有挑战性几何形状的表面上也是如此。Plasmalab 800 Plus由一个电源提供动力,该电源为工艺室提供高性能、低噪声的等离子体。该系统还具有先进的光学传感器，能够对开路电位和反应性沉积速率进行高效检测、测量和分析，使用户能够精确控制蚀刻过程。OXFORD Plasmalab 800 Plus拥有智能软件控制的工艺室，具有广泛的工艺参数，为最安全、最高效的材料蚀刻创造了条件，并配有集成的真空泵、水冷和油雾回收系统。它能够蚀刻大量用于微电子应用的各种细腻材料，包括硅和砷化移铵。此外，Plasmalab 800 Plus还有一个全局快门，可进行原位快门控制，为每个蚀刻周期提供灵活性。电源的交流输出可从0调整到100%,从而完全控制整个过程。蚀刻室的有效垂直间隙公差为0.2mm。OXFORD Plasmalab 800 Plus支持的三种主要蚀刻方法是平面蚀刻、栅格蚀刻和盲蚀刻。平面蚀刻和栅格蚀刻都需要X、Y和theta坐标扫描。对于盲蚀刻,theta扫描将替换为单点测量。平面蚀刻法最好在长宽比较高的蚀刻层时，而光栅蚀刻最好用在长宽比较小的密集层上。盲蚀刻可用于大长宽比、高长宽比、无精细特征的层。用户的安全由三个主要安全特点保证：除非停止蚀刻过程，否则加工室门不会打开的联锁系统、用于检测加压收集颗粒和化学品的泄漏传感器以及超声波发射器/接收器。所有这些功能确保了蚀刻过程中的最大安全性。在不使用时,Plasmalab 800 Plus Auto-Save函数将保存所有进程参数以及它们产生的蚀刻过程的签名。此功能允许用户以最小的努力重复以前的蚀刻过程。它还监视工艺状态,使用户能够在开始生产之前评估蚀刻性能。