二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9315629 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款蚀刻器和asher，旨在满足先进原型制作和研发实验室的需求。它是一种高性能的多室设备，能够进行广泛的蚀刻和灰化工艺。该系统采用独特的双室设计，允许在一个室中进行蚀刻，在另一个室中进行灰化。溅射蚀刻室包括一个压板，最多可同时安装和固定四个基板，从而实现高通量蚀刻。使用滑动门可以方便地装载基板，无论大小和形状如何。DI灰化室旨在提供更快、更一致的氧化物蚀刻速率，石英基单侧蚀刻器非常适合最新一代的材料。这两个分庭都是通过独立、健全的控制系统运作或管理的。Plasmalab 800 Plus在等离子体腔室和DI ashing腔室中使用RF源的组合。射频源经过精心配置,可确保最大效率,范围可达485W。这使设备能够处理薄而细腻的基板,而不会牺牲性能。OXFORD Plasmalab 800 Plus具有多语言、直观的用户界面,可让客户轻松控制机器,可直接访问蚀刻室、配方、调整参数、过程定时和射频参数。可以选择预编程的配方,使客户能够微调结果,以满足其特定应用程序的需求。Plasmalab 800 Plus的设计考虑到安全性，并配有互锁、屏蔽和安全系统，以确保操作员随时安全。所有组件的设计都符合当前的CE和FCC法规。该工具还集成了真空诊断和远程访问功能。OXFORD Plasmalab 800 Plus是精密、高效、安全的蚀刻和灰化加工的理想选择。高级功能、强大的设计和直观的软件使其成为任何高级原型设计或研发实验室的重要工具。