二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9404272 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一种用于处理和蚀刻各种材料的最先进的蚀刻器/asher。它为精细材料的加工提供了高度的精确度和精确度，是为极致清洁和优化过程控制而设计的。它能够通过预编程的操作序列和各种可编程参数进行蚀刻、灰化、溅射和广泛的其他应用。Oxfod Plasmalab 800 Plus旨在提供高吞吐量,并最大限度地减少操作人员在过程中的干预。该工艺室真空度高达100毫巴，内部容积为23升，适用于尺寸可达300毫米的样品。这使得薄膜的大规模沉积或微电子器件的处理具有可重复的均匀性和高通量。易于访问的前面板应用模式包括金属、半导体和陶瓷等不同材料的蚀刻和灰化配方，以及针对更具体工艺量身定制的配方。集成驱动系统能够精确控制工艺条件,对压力、温度、流量和底压进行独立监控,以优化工艺性能并最大程度地减少污染。高级用户界面允许实时远程操作和监视流程参数，并提供对流程步骤的在线控制。所有设置和程序更改都可以通过Web服务器远程访问。这样可以确保无需现场人员即可全面实施新流程或例行维护硬件。OXFORD Plasmalab 800 Plus的后面板最多可容纳20种工艺气体，可以在蚀刻和灰化操作中进行选择和控制。其他功能包括功能强大的数据记录功能,它本质上是内置的可编程数据记录器,允许在实验和操作期间进行过程优化。Plasmalab 800 Plus旨在缩短运行时间并提高操作一致性。该系统具有高吞吐量和大容积腔室，使用户能够快速开发新的微型器件制造和蚀刻工艺。其用户友好的界面使其易于操作和编程,从而确保了可靠、一致和高效的操作。