二手 OXFORD Plasmalab 800 #293830575 待售
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ID: 293830575
优质的: 2015
PECVD System
Process chamber
Gas/control enclosure
Pumping package
2015 vintage.
OXFORD Plasmalab 800是一款先进的车载蚀刻器和asher。它包括板载高分辨率离子束源和内置的反应性气体输送设备。它旨在在蚀刻和灰化过程中提供精确度和准确性,使其成为广泛应用的理想选择。该蚀刻器具有5µm/min的高沉积蚀刻速率，在提高选择性、可重复性和边缘清晰度的同时可以达到1200K的温度。Plasmalab 800具有广泛的工艺气体，包括FF、SF、CF4、CHF3、CF2Cl、CF 2Br、C2F 2Cl 2和C2F 2Br。它还具有各种压力和温度循环，可用于各种底物化学。OXFORD Plasmalab 800还为其工艺参数配备了实时监控系统。这包括气流、沉积速率、沉积百分比、气体浓度、压力和温度。它还允许远程监视,并且可以与本地网络连接一起使用或直接通过Internet访问。该单元是独立的，易于操作和维护。它具有直观的图形用户界面（GUI）以及用于操作设置和故障排除的全面手册。它可以容纳厚度不超过3mm的4"-8"基板,蚀刻后无需清洗。Plasmalab 800是用于精密蚀刻和灰化的最先进的工具。机载高分辨率离子束和气体输送机使其非常适合各种微加工应用。它能够快速、精确地产生具有出色的重复性和边缘清晰度的工艺层。内置远程监控工具便于诊断和维护。这些功能使OXFORD Plasmalab 800成为一种功能强大且极具价值的工具。
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