二手 OXFORD Plasmalab 90 Plus #9305326 待售

OXFORD Plasmalab 90 Plus是一款用途广泛、可靠的蚀刻/asher组合设备。用于湿法和干法溷合蚀刻样品的蚀刻和灰化。该系统非常适合蚀刻和粉刷各种材料,包括Si、GaAs和InP。Plasmalab 90 Plus配备两个电源；直流电源,正向和反向电源最多100A个,射频电源最多可产生500W个。OXFORD Plasmalab 90 Plus 蚀刻器/asher具有全自动操作,具有高精度的样品放置、传输和检测。此单元允许使用6轴运动控制机对样品进行精确蚀刻和灰化,使样品精确放置在卡盘上。该腔室具有基于氟氯化碳和氟氯化碳的蚀刻能力，两种类型的蚀刻都有各种可选气体。Plasmalab 90 Plus还具有灵活的气体输送设置，可以针对不同的蚀刻需求对不同的气体流动和输送压力序列进行编程。蚀刻和灰化过程使用完全集成的ARM（自动机器人运动）工具进行控制,在不同的样本中提供编程配方和准确的结果一致性。OXFORD Plasmalab 90 Plus配备了先进的流程监控资产，以确保准确的结果。自动位置验证（APV）模型允许自动注册样品位置,而自动端点检测（AEP）设备可以检测蚀刻或灰化过程的结束。Plasmalab 90 Plus为各种样品的蚀刻和灰化提供了一个坚固可靠的平台。它的准确性、柔韧性和过程控制使得它成为微观制造半导体器件和其他材料的理想工具。该系统也适用于深硅蚀刻和灰化等先进工艺。