二手 OXFORD Plasmalab 90 #293619113 待售

OXFORD Plasmalab 90是一种先进的蚀刻器和asher设备，用于各种行业的微加工工艺。这一可靠的系统被广泛用于为医疗植入物、MEMS设备和光伏等一系列应用创建集成电路（ICs）和其他组件。这一单元的主要优点包括能够精确、均匀地蚀刻、清洁和沉积厚度达到30 µm的指定范围内的金属层。Plasmalab 90机设有9轴可移动机器人臂和允许同时蚀刻和灰化多个样品的真空室。它配备了不同的来源，连同3个主要来源（E-gun、离子束、Magnetron溅射炮）。每一个来源都有独特的能力，可以在纳米级进行蚀刻、灰化和金属沉积。此外，该工具还包括一个可以在加工过程中精确测量气体浓度的原位气体监测器。该资产还配备了一个RAM源（Reactive Atomic Mixing），用于将杂质引入等离子体，以帮助增强蚀刻或重整性能。它利用电弧借助磁场产生稳定的粒子流动。这有助于产生恒定的碰撞离子、电子和其他粒子流，这有助于改善蚀刻过程。OXFORD Plasmalab 90型号还配备了集成热像仪，帮助监测晶圆的温度变化，以确保更均匀的蚀刻过程。此外，该设备还与可编程逻辑控制器（PLC）集成在一起，该控制器通过控制反应堆的温度来提高运行稳定性。该系统配有三维检测单元，有助于协调样品的确切位置和方向。这一尖端功能有助于减少位置误差,并允许精确观察样品蚀刻和灰烬的表面。最后,该机器与计算机辅助设计（CAD）软件包集成在一起,可帮助生成蚀刻和灰化过程的详细3D模型。还可以校准CAD软件,以便在实际制造开始之前模拟过程。总体而言，Plasmalab 90是一种可靠和先进的蚀刻和粉刷工具，有助于为各种应用创建高度精确和均匀的微制造组件。它的设计具有广泛的功能,使其能够按照精确的规格有效地蚀刻、清洁和沉积金属层。这些特性使得OXFORD Plasmalab 90成为精密制造微电子元件的理想资产。