二手 OXFORD Plasmalab DP 800 #293649543 待售

ID: 293649543
优质的: 1993
PECVD System Gases: SiH4, SiO2, Si3N4, N2O, NH3, H2, CF4, O2 (2) Rotary vane pumps Roots pump Turbo pump Dust filter RF Generator Vacuum gauge Controller Silane cracking oven Gasbox with MFC 1993 vintage.
OXFORD Plasmalab DP 800是一种蚀刻器和asher,旨在为各种应用提供精确的蚀刻和灰化技术。这种高度先进的工具提供了对蚀刻、灰化和离子溅射过程的精确控制,使用户能够在可比技术所需时间的一小部分内获得准确的模式和特征。Plasmalab DP 800配备了高性能的DualPower电源,在蚀刻和灰化过程中提供对RF和DC功率水平的精确控制。这允许用户微调他们的流程,微调精确的结果。OXFORD Plasmalab DP 800可在大范围的纵横比上实现精确的有限纵横比蚀刻。该蚀刻器设计用于蚀刻单层或多层结构,支持各向同性和各向异性蚀刻。还配备了直接二极管激光器,用于控制蚀刻深度;这样可以实现统一且可重复的蚀刻结果。Plasmalab DP 800还能与多种蚀刻气体一起灰化,包括氧气、氮气和​​氙气。这款asher配备了变频RF电源,允许用户控制其ashing过程的脉冲持续时间和频率。这有助于实现精确的结果,以及提高可靠性和可重复性。总体而言,OXFORD Plasmalab DP 800是一款先进的蚀刻器/asher,它提供了极好的速度、准确性和可重复性组合。它具有高精度和精密控制的蚀刻和灰烬能力,使其成为半导体行业中功能强大且广受欢迎的工具。其特点,加上出色的性能,使得Plasmalab DP 800蚀刻器和asher成为各种应用的理想选择。
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