二手 OXFORD Plasmalab PRS900 #293640277 待售

OXFORD Plasmalab PRS900是一种坚固、高性能的蚀刻器/asher,旨在为用户提供精确蚀刻和粉刷各种材料的能力。蚀刻器/asher是一种多功能工具，能够蚀刻、粉刷和蚀刻清洁各种材料和基材。它既有蚀刻室，又有灰烬室。蚀刻室具有光栅射频（RF）源和真空能力，可实现精确、精确的蚀刻。Asher腔室还具有RF源,具有用于修剪Ashing的DC和RF电源。蚀刻过程是在PRS900中通过向蚀刻室引入工作气体和基板材料而启动的，在那里它们暴露于射频源。此函数导致材料-去除速率取决于基材类型、气体类型、气体压力、气体流量和基材蚀刻暴露时间等参数。Asher腔室使用直流电（DC）和射频源将样品修剪成所需的大小，与蚀刻腔室的修剪形状同心。该PRS900还有一个闭环过程控制系统，利用压力、时间和温度来微调蚀刻和灰化过程。该PRS900具有一系列独特的特点，如灵活配方编程的可移动工艺室、自动冷却、系统温度保护、气体流量计算以确保可重现结果，以及用于优化等离子体生成的射频匹配电路。所有这些功能都可确保蚀刻器/asher可用于可达到各种深度和特征大小的标准和定制蚀刻轮廓。Plasmalab PRS900是小型和大型蚀刻和灰化项目的通用工具。它提供了一系列功能,以提高精度和准确性,这意味着用户现在可以轻松执行复杂的蚀刻和灰化任务。利用优化的等离子体生成、可重现的结果和灵活的配方编程，PRS900使得蚀刻和灰化比以往任何时候都更加容易。