二手 OXFORD Plasmalab System 90 #293605091 待售

OXFORD Plasmalab Equipment 90 （P90）是为IC和一般微加工应用而设计的高品质蚀刻/灰化蚀刻器。这种先进的蚀刻器/asher是精密蚀刻和相关应用的理想选择。P90配备单一气流系统，能够对细腻结构进行精确高效的蚀刻，同时保持高工艺产量。P90提供了一个设计独特的腔室,真空级别高达1 × 10-6 Torr,确保了进行蚀刻过程的最佳蚀刻环境。此外，P90还集成了加热器和冷却器，允许在蚀刻过程中产生不同的热模式，从而实现精确和高分辨率的结构。此外，一个内置的自动快门功能，提供实时控制气体流量。此外，P90还有一个高效和可靠的联锁装置，可防止在没有达到具体标准的情况下发生蚀刻过程。此外，P90中的腔室设计用于机器人臂对晶片进行高效的装卸，并配备手动试样装卸装置。Plasmalab Machine 90具有直观的操作工具,用户友好,并允许操作员快速习惯其功能。控制台显示实时数据,例如示例的配置文件和状态以及腔室压力。操作员可以轻松读取腔室压力，调整资产参数。此外,P90还配备了支持远程访问程序的高级软件模型,允许用户通过以太网连接监视和控制设备参数。P90软件具有全面的远程控制功能和全面的故障查找功能,可最大程度地减少停机时间和批量浪费。由OXFORD Instruments建造的OXFORD Plasmalab System 90是IC和一般微加工应用的完美蚀刻器/asher。P90具有一系列先进的工艺能力及其易于使用的操作单元,为复杂结构的生产提供了无与伦比的质量和性能。