二手 OXFORD PlasmaPro 100 Cobra #293830475 待售

OXFORD PlasmaPro 100 Cobra是为半导体制造、MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）制造和研究应用而设计的先进等离子蚀刻器/asher设备。这种多用途工具配备了多种特性和功能，能够对各种材料进行精确和受控的等离子体处理。PlasmaPro 100 Cobra是一款高性能工具,提供多种等离子体处理模式,包括蚀刻、灰化、沉积和清洁。该系统能够处理各种工艺气体，如氧气、氟基气体和其他反应性气体，允许用户量身定制等离子体化学，以实现所需的材料去除或改性。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra的关键特性之一是其先进的等离子源技术。该装置配有高密度等离子体源，能够在整个工艺室中高效、均匀地产生等离子体。这样就产生了一致和可靠的流程结果,从而确保了高流程可重复性和控制。PlasmaPro 100 Cobra提供了一系列过程控制选项,包括射频功率控制、气流控制、压力控制和温度控制。用户可以优化工艺参数，以实现特定设备结构所需的蚀刻速率、选择性和轮廓控制。该机器具有高度可配置的处理室,可用于单个晶片处理或批处理。晶片卡盘设计允许在加工过程中进行安全的晶片夹紧和高效的传热,从而确保晶片表面的均匀处理。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra配备了用户友好界面，可方便编程和控制流程配方。用户可以通过直观的软件界面定义流程序列、设置流程参数、监控实时流程数据。该工具设计具有气体泄漏检测、超压保护和联锁等安全功能，以确保用户在操作过程中的安全。PlasmaPro 100 Cobra还具有强大的真空资产,可实现快速下泵和稳定的工艺条件。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra是一款非常可靠且经济实惠的工具,拥有成本低,维护要求最低。该模型专为高吞吐量和生产率而设计,非常适合研究和生产环境。总之,PlasmaPro 100 Cobra是一款最先进的等离子体蚀刻器/asher设备,为各种等离子体处理应用程序提供先进的功能、精确的过程控制和高性能。它的多功能性、可靠性和易用性使其成为半导体制造、MEMS制造和研究实验室的宝贵工具。