二手 OXFORD PlasmaPro 100 #293663573 待售

OXFORD PlasmaPro 100是一款为半导体研究和先进材料开发而设计的蚀刻器和asher。它提供了一个集成的端点检测系统,实现了精确的蚀刻端点控制,方便地将数据传输到外部系统,并提高了可靠性。这种ecther/asher具有多种功能,可提高工艺可靠性和质量水平。PlasmaPro 100最重要的特点之一就是能够在单个过程中精确蚀刻和粉刷各种材料。这包括金属、氧化物、氮化物和可以在等离子体技术和电子技术中进行加工的聚合物。它提供了对横向和垂直蚀刻轮廓的精确控制。蚀刻器/asher由一个负载锁式的加工室和真空系统、一个气体面板和一个专有的顶置等离子体源组成。气体面板的设计具有与外部系统以及压力和温度控制器的通信能力。OXFORD PlasmaPro 100还有一个能够产生高达100瓦功率的高功率电源。即使在处理多层薄膜时，这种电源也能在基板上提供恒定的功率和高水平的等离子体均匀性。这种蚀刻器/asher可以加工多达三英寸的基板，并且能够达到高达30 µm的总蚀刻深度。PlasmaPro 100具有许多附加功能,可确保过程可靠。它设计用于低工作温度、高工艺选择性、最小的机械振动和均匀的蚀刻轮廓。它还具有较高的吞吐量能力,具有基带负载和卸载功能,并通过监视腔室来配备可配置的工艺质量保证。总体而言,OXFORD PlasmaPro 100是一款用途广泛、可靠且高效的蚀刻器,可用于开发先进材料。它能够处理各种材料，具有精确的端点控制，并提供高吞吐量。它还具有集成的端点检测系统、与外部系统的通信能力以及可配置的流程质量保证功能。凭借其强大的设计和精确的控制功能,这款ecther/asher为高级材料蚀刻和灰化提供了理想的解决方桉。