二手 OXFORD PlasmaPro 100 #293752371 待售
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ID: 293752371
优质的: 2018
PECVD System
Deposition lower electrode kit
ADVANCED ENERGY / DRESSLER RF 600W Generator
AMU Match
INFICON 5T CM Gauge kit
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A604H Pump kit
Pump cable, 10 m
Isolation valve
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACP 15D Dry pump kit
Single wafer load lock kit
Gas pod
(8) Gas lines
Gases: SIH4, NH3, GN2, CF4, N2O
Mass Flow Controller (MFC)
PC
Monitor, 19"
Power supply: 400 V, 3 Phase, 50 Hz
2018 vintage.
OXFORD PlasmaPro 100是一款工业级蚀刻器/asher，专门设计用于光刻、掩模修复和微电子器件制造中的蚀刻和灰化工艺。它的工作原理是将射频能量与氧化和蚀刻气体大气相结合，以诱导高温等离子体从基质中去除不需要的物质。该机能够控制底物的化学蚀刻和物理蚀刻以及薄膜的蚀刻和灰化。PlasmaPro 100的心脏是其先进的射频发生器，它产生的高频信号范围高达20MHz。这允许精确且可重复的蚀刻和灰化过程。发电机连接到两个独立调节的射频天线，一个用于化学蚀刻过程，另一个用于物理蚀刻过程。所有这些组件协同工作,为用户提供对蚀刻和灰化过程的高度控制。OXFORD PlasmaPro 100的蚀刻/灰化室可以一次容纳两个基板，并且能够达到-25至+40°C的温度，使得各种材料能够被蚀刻和灰化。腔室还配备了质量流控制器，以精确控制腔室的压力以及蚀刻和灰化气体的流动。这进一步确保了流程的一致性和可重复性。安全对于PlasmaPro 100至关重要,蚀刻/灰化室装有流量和压力传感器,可主动监测其中的大气。还具有安全互锁功能，以确保腔室的完整性，不允许有害材料进入工作区。OXFORD PlasmaPro 100支持从1 "x 1"到8 "x 8"的多种基材尺寸。射频电缆和气体管路的馈线均为标准尺寸,允许直接连接到各种基板。该机还具有电信号反馈，允许更严格的过程控制，以及高分辨率的显示和直观的用户界面，使操作机器变得简单。总体而言,PlasmaPro 100是一款极其可靠且用户友好的蚀刻/灰化机。其先进的射频发生器、双射频天线、可控室温带和精确控制的射频参数，使得该机非常适合广泛的蚀刻和灰化工艺。
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