二手 OXFORD PlasmaPro 100 #293807691 待售

OXFORD PlasmaPro 100是由OXFORD Instruments Plasma Technology开发的高性能等离子体蚀刻器和asher设备。这一先进工具旨在满足半导体、MEMS（微机电系统）、光电等相关行业的研发和生产环境的苛刻要求。PlasmaPro 100提供了一个用于精确等离子体处理的通用平台,使用户能够在各种基材上实现卓越的蚀刻和灰化效果。OXFORD PlasmaPro 100采用最先进的腔室设计,可提供均匀的等离子体分布和高效的气体利用率,确保一致且可重复的处理结果。该系统配备了先进的等离子体源和控制机制，允许对气体流速、射频功率、压力、温度等过程参数进行精确调整。这一级别的控制使用户能够量身定制等离子体化学和能量，以优化特定应用的工艺性能。PlasmaPro 100的一个关键特点是在处理各种类型的基板上具有灵活性，包括半导体晶圆、玻璃、金属和聚合物。该设备提供可定制的基板处理选项,如晶圆尺寸、卡盘类型和温度控制,以适应各种样品类型和尺寸。这种多功能性使得OXFORD PlasmaPro 100适合研究实验室、试点生产线和全面制造设施。PlasmaPro 100配备了一系列支持蚀刻和灰化过程的气体输送系统。用户可以从多种工艺气体中进行选择，例如氯、氟、氧气和氙气，以实现所需的蚀刻选择性、各向异性和轮廓控制。该机还包括一个高效的抽油机，用于快速排气和精确控制过程压力，提高过程的重复性和可靠性。为确保安全和符合行业标准,OXFORD PlasmaPro 100具备强大的互锁系统、气体泄漏检测机制和紧急关机功能。该资产采用用户友好的软件界面设计,可提供直观的流程监视和控制功能。操作员可以轻松设置流程配方，监控实时流程数据，分析结果以优化流程性能。除了先进的处理功能外,PlasmaPro 100还设计了易于维护和可维护性。该模型结合了诊断工具和远程监控功能,以实现主动式维护计划和故障排除。OXFORD Instruments提供全面的技术支持、培训计划和应用援助，帮助用户最大限度地提高其OXFORD PlasmaPro 100系统的性能和寿命。总体而言，PlasmaPro 100是一款尖端的等离子体蚀刻器和asher设备，结合了精度、多功能性和可靠性，以满足半导体和相关行业不断变化的需求。OXFORD PlasmaPro 100凭借其先进的腔室设计、可定制的基板处理选项、精确的工艺控制以及用户友好的界面,为等离子体处理技术设定了新标准,并使用户能够在其研究和生产应用中取得卓越的成果。