二手 OXFORD PlasmaPro 800 Plus #9412285 待售

OXFORD PlasmaPro 800 Plus是一款蚀刻器/asher，专为半导体基板的高速蚀刻而设计。高速蚀刻工具配备了先进的微波和射频等离子体技术，使得更快的蚀刻具有更高的产量和精度。PlasmaPro 800 Plus的特点是具有四个石英卤素反射器的大面积工作台,能够在整个表面提供高功率。反射器涂有特殊的介电材料，以防止产生微放电，并确保均匀和精确的蚀刻过程。OXFORD PlasmaPro 800 Plus配备了四个在13.56 MHz微波频率范围内运行的射频源。这四个RF源中的每一个都有一个RF输出,可以配置为蚀刻或灰化。该工具还为可配置的电源传递和控制提供了额外的资源,为不同的蚀刻过程提供了更高的准确性和灵活性。PlasmaPro 800 Plus还具有高精度的精密分级机构，旨在精确调整基板的位置。精密运动由配备双轴调节和高分辨率编码器的微型电机伺服控制。这样可以确保底物在执行蚀刻过程时保持水平。OXFORD PlasmaPro 800 Plus的另一个显着特点是其先进的过程监控系统。它具有一系列监视器，如实时等离子体强度监视器、过程时间监视器和基板温度监视器，以提供有关蚀刻过程的实时反馈。它还包含一个过程控制系统，允许用户针对特定的过程条件精确调整蚀刻参数。PlasmaPro 800 Plus还包括一个全面的流程数据库，允许用户轻松存储和检索处理数据。数据可以从非易失性内存中快速轻松地检索,并根据特定的过程条件进行组织。OXFORD PlasmaPro 800 Plus是半导体基板高速、精确蚀刻的重要工具。它配备了先进的射频和微波等离子体技术，先进的分级机制，以及全面的工艺数据库。该工具还具有一系列监视器和一个过程控制系统，允许用户实时调整和监控蚀刻过程。这为用户提供了更大的控制、准确性和灵活性。