二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293591973 待售

OXFORD PlasmaPro NGP 1000是由OXFORD Instruments设计制造的蚀刻器和asher。它是一种高度通用、自动化的等离子体加工设备，针对各种薄膜材料的高质量、可复制和经济高效的加工进行了优化。该系统适用于处理Silicon、GaAs、SiO2、SiNx等多种材料，使高性能医疗、光电和微电子器件元件得以生产。NGP 1000在紧凑、经济高效且易于使用的平台中提供高速等离子体氮化、定向氧化和晶片处理功能,非常适合研发和试点生产实验室操作。该仪器装有直径20厘米的低温加工室，在超低沉积温度下优化用于均匀等离子体加工。主动冷却装置在腔室内保持持续的低温轮廓,从而实现高通量处理,并提供可靠、可重复的结果。NGP 1000配备了OXFORD Instruments业界领先的ProCESS控制软件和提高生产力的晶圆处理,为用户提供了一个自动化的解决方桉,用于高度精确、可靠和可重复的蚀刻和沉积处理。该机设计简便、可重复运行、工艺效果一致，具有自动气体和工具诊断功能，并对工艺参数进行高级控制，包括压力控制、射频发电机控制和快速晶片配方。NGP 1000设计为低维护,具有自清洁离子源,可减少资产停机时间和降低运营成本。该仪器还配备了先进的安全模型，适合在100级洁净室中使用，让用户确信自己的实验和研究是安全、可靠和质量最高的。OXFORD PLASMA PRO NGP1000具有优化的设计、高可重复性和低运营成本,是广泛行业中蚀刻和晶圆操作的绝佳选择。