二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293636250 待售

OXFORD PlasmaPro NGP 1000是一款高精度的等离子体Asher/Etcher，旨在在蚀刻和灰化应用中提供非凡的效果。它利用低压中频电源提供高度稳定的功率输出。此外，其先进的射频发电机和Paschen定律稳定技术确保了卓越的蚀刻和灰化性能。NGP 1000配备了直观的控制设备，便于操作，并由综合安全系统进行安全保护，以防止危险。NGP 1000能够产生深度蚀刻，横向分辨率极高，蚀刻轮廓均匀，纵横比平滑，重复性强。高精度蚀刻器与闭环质量流控制器集成，用于对腔室压力的精确控制，从低真空到超高真空，允许精确的蚀刻过程。它还具有一个腔室温度控制单元，在整个蚀刻和灰化过程中保持一个均匀的温度。此外，NGP 1000的腔室尺寸能够容纳直径不超过12英寸的基板。该装置的正向射频偏置具有可选的延迟时间和多脉冲包络的彷真能力，为不同的蚀刻应用提供了完美的选择。另外，背面基板加热机可用于抑制不良颗粒的产生，而集成高精度机器人则可用于执行精密的前、后蚀刻操作。NGP 1000的均匀离子通量输送工具保证了最佳的蚀刻深度和轮廓，以及一致的结果再现性。此外，多用途蚀刻器与一系列气体溷合物兼容，包括氙、氟化物和碳。这确保NGP 1000可用于广泛的应用，从基本蚀刻到金属和非金属材料的深层蚀刻。总体而言,NGP 1000是工业环境中高精度、可重复蚀刻和灰化应用的理想选择。