二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293765806 待售
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ID: 293765806
晶圆大小: 8"
优质的: 2012
PECVD System, 8"
Load Locked Chamber
System PC, Keyboard, Mouse
X20 PLC
Chamber heating kit
Dual frequency RF
HF RF Generator
LF RF Generator
490 mm Diameter Aluminum Lower Electrode
Gas-shock assisted chamber lift mechanism
Dry pump
Load lock vacuum pump
Operations manual and documentation
X20 External Gas Box
2012 vintage.
OXFORD PlasmaPro NGP 1000是一款先进的蚀刻器和asher,适用于各种材料的应用。它具有强大的1 kW光源,能够对直径不超过4英寸的晶片进行精确、高效的蚀刻和粉刷。此外,NGP 1000还具有快速射频源切换功能,可实现进程之间的无缝过渡,从而适合许多不断增加的蚀刻/灰化需求。NGP 1000的温度范围为-50°C至+50°C,使其能够蚀刻和粉刷各种厚度达1.6mm的材料。此外,它还拥有业界领先的400MHz频率和0.9 s脉冲分辨率,可提高蚀刻过程的精度和准确性。先进的硬件还允许精确的气体压力控制,从而实现更一致的过程和更好的质量结果。NGP 1000坚固高效的设计允许从快速蚀刻到低温处理的广泛应用。该设备还包括一些先进的功能,如并行处理能力和实时过程监测,这使得它非常适合高度指定的蚀刻和灰化需求。此外,NGP 1000配备了集成的FOUP晶圆载体,使其一次最多可以装载和处理八个晶圆。NGP还与OXFORD System Control软件完全兼容,该软件为用户提供了对该单元各种功能和参数的完全控制。此软件允许用户创建和存储众多流程配方,并实时监控结果。此外,该软件还具有一系列功能,可轻松监视和控制机器以及安全存储配方数据。总体而言,OXFORD PLASMA PRO NGP1000是一款专业的蚀刻器和asher,配备了强大的1千瓦光源、精确的气压控制和先进的硬件,使其适合多种应用。它还包括许多高级功能,如并行处理、FOUP晶圆载体和Oxfords的Tool Control软件,使NGP 1000成为精确蚀刻和灰化需求的理想选择。
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