二手 PANASONIC PC30B-HS #293615437 待售

PANASONIC PC30B-HS是一种高效、高速的半导体器件制造蚀刻和灰化设备。它具有很大的货架容量,每次工艺运行最多可容纳200个8英寸（或12英寸）晶圆。PC30B-HS由五个独立的过程室组成，这些过程室连接在一起，形成一个具有单个控制器的大型系统。这些工作间采用水平/垂直方式设计,可利用优化的工作区获得最大容量。每个加工室以垂直方向加载，每个室有单独的加热器。该单元提供了一个选择的过程程序，单一配方函数，以及一系列控制参数直接在机器内部编程。这允许最大程度地控制过程,从而实现最佳蚀刻或灰化结果。此外,用户还可以访问一套远程操作和预测性维护工具,这些工具可以立即检测到任何潜在的故障,并将任何必要的操作通知操作员。在操作参数方面，PANASONIC PC30B-HS能够在高达2000度的设定温度下进行蚀刻和灰化。操作压力可在0到0.10MPa之间调节，或1.0MPa用于蚀刻。处理时间可设置为1到999秒,蚀刻时可设置为4999秒。此外，该工具还配备了自动气体输送资产，能够准确控制过程气体的流动，从而实现安全、清洁和一致的过程。为了进行用户监控,PC30B-HS配备了一个高级用户界面,该界面显示当前进程参数,并且在满足某些阈值时可编程为触发警报。这与实时温度监测和内部模型诊断相结合，保证了一致和最优的灰化结果。此外，该设备符合J-STD-004，这是一个行业公认的标准蚀刻和灰化安全和质量控制。总体而言，PANASONIC PC30B-HS是一个可靠、高效的蚀刻和灰化系统，能够提供一致和最优的工艺。其直观的用户界面，结合设备先进的监控系统保证了最优流程。因此，PC30B-HS是任何半导体器件制造设施的理想选择。