二手 PHOENIX RE-200 #9042770 待售

PHOENIX RE-200是为各种工业和研究工作及实验室操作而设计的高级蚀刻器/asher。这种先进的设备结合了蚀刻和灰化功能,在轻松的制造过程中提供高效可靠的结果。该系统采用双室设计，并配有锁载装置，使蚀刻和灰化能够同时或连续进行。RE-200的高效设计包括6个全方位提升销，允许快速装载和卸载，而无需主动气体输送或基板夹具。腔室温度控制，温度稳定，确保均匀蚀刻。汽化室采用可移动汽化器,维护成本低.蒸发器还具有低能耗和处理大型基板的能力。PHOENIX RE-200的蚀刻功能包括内存设备和逻辑设备,能够微调参数以改进制造结果。等离子体生产装置和自动供气装置能够使用各种气体进行精确的蚀刻和灰化。该机还可支持真空烘烤和真空启动，用于晶体管制造。RE-200的灰化能力利用强大的温度控制射频发生器去除灰化室内的有机物质。排水和副产品是自动化的，蚀刻气体净化能力允许无污染残留物。该工具还提供四级抽水，用于灰化过程中的最终真空控制。PHOENIX RE-200具有便携性和易用性,具有单相电源连接,运行可靠。该资产还具有低压操作和减少电晕气体消耗和废物产生的特点。该型号提供液晶显示屏和颜色编码的触摸屏按钮,便于操作和监控过程。设备还符合CE和CSA标准,确保符合最高安全和质量标准。