二手 PLASMA ETCH BT-1/C #9328696 待售

PLASMA ETCH BT-1/C是为各种等离子体蚀刻应用而设计的高性能asher和蚀刻器。根据应用程序的不同,此设备有多种尺寸可供选择。设备包括等离子体源、多个气源和计算机控制的等离子体室。等离子体源由强制空气射频发电机供电。等离子体源直接等离子体产生一个具有低电位变化的高度稳定的等离子体。这为蚀刻提供了最佳效果。包括多种气源，提供氧气、氢气、氮气和其他等离子体气体。计算机控制的气体输送系统精确调节气体流量、压力和腔室温度。射频发生器将射频电源提供给单个电极,从而在外壳中产生均匀的电场。通过控制面板对工艺参数进行精确调节,并具有智能界面,包括自动调节、报警和安全功能。该室具有良好的热控制、均匀的等离子体产生和整体阴极电弧源.气体分配装置有多个入口和出口，在整个过程中保证统一的热控制。外壳几何是专门为促进湍流，保证均匀蚀刻深度和蚀刻速率而设计的。该室壁设计和测试的高性能，提供腐蚀和耐化学性。墙壁也被设计成最大限度地减少等离子体沉积在墙壁上，导致清洁过程。设计还旨在减少EMI,这在涉及敏感电子元件的现代应用中是必需的。该机还采用计算机控制的真空工具来控制腔室压力。这样可以确保最佳的压力平衡,从而实现可靠的蚀刻性能。该资产还包括用于精确过程控制的集成质量流控制器。集成模型监控温度控制和蒸气压力，以及氧气和氙气水平。PLASMA ETCH BT-1/C是一种高性能的蚀刻器和asher，其设计提供精确的，可重复的结果。该BT-1/C具有多种气源、自动化控制和坚固的设计，是各种等离子体蚀刻应用的理想工具。