二手 PLASMA ETCH BT-1 #9390929 待售

PLASMA ETCH BT-1是为工业和教育环境中的等离子体蚀刻应用而设计的最先进、经济高效的蚀刻器/灰化器。它配备了多种特性，使其极其可靠和易于使用。该系统包括高精度数字温度控制器、可旋转阳极室、石英晶体压力传感器、气体入口歧管和气体流量计。等离子体蚀刻BT1提供各种材料的受控、高分辨率蚀刻和灰化。其最大矩形面积为110 mm x 100 mm，最大溶液深度为15-20mm，允许单次蚀刻至3mm深度，腔室设计为采用机械锁定机构密封，防止任何化学气体逸出。最大射速为10发/秒，最大电极功率为1000W，适用于精密蚀刻和灰化，散热最小。BT-1还提供了一系列额外的功能。数字温度控制器提供对RF电源的精确控制,具有手动和自动温度调节功能。可旋转的阳极腔允许容易进入难以到达的区域。石英晶体压力传感器负责监测和控制阳极腔内的压力，确保蚀刻和灰化过程中的精度。气体入口歧管旨在减少挥发性气体逸出的机会，同时允许使用者调节和控制气体流动。最后，气体流量计测量室内的气体量，以便进行更精确的调节和控制。BT1是一个可靠和用户友好的蚀刻器和asher。由于其精确的温度控制、可旋转的阳极腔和气体入口歧管，该系统提供了可靠、准确、经济高效的蚀刻和灰化工艺。它是工业和教育环境的理想选择。