二手 PLASMA ETCH PE-100 #9281671 待售

PLASMA ETCH PE-100是一种用于半导体器件制造的蚀刻和灰化设备.它由PLASMA ETCH, Inc.开发，常用于光刻的生产。该系统设计用于处理从4英寸（10厘米）到6英寸（15厘米）不等的晶圆尺寸。它是一种多用途蚀刻器/灰化器，能够在一个单元中全部进行干蚀刻、灰化和薄膜沉积过程。该机提供高速均匀性，这是通过使用内置的双源工艺室实现的，该室可用于氧气等离子体蚀刻或灰化。可以对该工艺室进行调整以优化蚀刻速率、选择性和均匀性。此外，PE-100还拥有先进的真空技术，为高速、高均匀蒸气蚀刻和灰化提供了优良的抽水和工艺系统，结果一致。它还能够进行精确的温度控制，从而得到均匀和受控的基板表面光洁度。它甚至可以用于结晶和碳缓慢蚀刻等先进应用。PLASMA ETCH PE-100还具有自动化的负载锁定机制，可以方便地将晶片送入和送出工具，以实现快速的周转时间。它还具有集成的安全功能，如低流量警报和停止安全开关，以防止发生任何事故。它还设计方便操作和维护,易于查看控制和数据视图。PE-100是一种经济高效且非常可靠的资产，能够提供最佳的结果，使其适用于半导体器件制造。它具有精确、高效的蚀刻和灰化性能,同时提供多种材料处理功能。