二手 PLASMA ETCH PE-100 #9402281 待售

ID: 9402281
Plasma system Running hours: 15 EDWARDS Vacuum pumps No chiller.
等离子体蚀刻PE-100是一种适合于各种应用的蚀刻器和灰化器。它采用不锈钢主柜和透明PMMA门构成,营造出美观易用的设计。该系统配有风冷电阻匹配离子源,为底物提供稳定可靠的等离子体。PE-100使用400瓦电源,可提供多种清洁和蚀刻性能功能。以其宽广的温度范围,可以轻易蚀刻硅、玻璃、绝缘体上硅(SOI)、聚合物等材料。它提供了广泛的参数,允许量身定制的过程来满足您的特定要求。这些参数包括压力、气体溷合物、射频功率和蚀刻速率。PLASMA ETCH PE-100的触摸屏面板用户友好性强,操作方便。它采用两室设计,允许一个室专用于单一应用,而另一个室仍可用于其他工艺。最先进的涡轮泵系统允许更快的腔室循环时间,允许更高效的处理和更少的停机时间。该腔室由优质不锈钢制成,提供出色的防腐、安全性和耐用性。这允许长期使用,而且维护和保养最少。PE-100提供了良好的过程重复性和紧密相关的模拟结果。它提供了对所有参数的完全控制,从而为蚀刻过程提供了最大的稳定性和可预测性。这对于光刻面罩的制造和其他敏感任务特别有用。该系统还具有紧凑的设计,非常适合教室和空间有限的其他空间。PLASMA ETCH PE-100是一种功能强大且可靠的蚀刻器/asher,可用于多种应用。它具有广泛的参数、直观的用户界面和较小的占地面积,是工程师、制造商、教育工作者和学生的理想选择。
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