二手 PLASMA ETCH PE-100 #9402380 待售

PLASMA ETCH PE-100是一个自动蚀刻和灰化处理单元，旨在在蚀刻和灰化相关过程中提供高精度和重复性。它配置了三个处理室和一个用户友好的触摸屏控制界面。ETCH PE-100的主要目标是为半导体工业中的晶圆制造提供高端、高效、经济、可靠的蚀刻和灰化工艺。此外，它还配备了强大的控制系统，在蚀刻和灰化过程中提供了更高的精度和可重复性。晶圆在蚀刻过程中的状况将决定蚀刻的程度以及该过程是否会停止或继续。这是连续和精确的监测与独特的"晶圆平滑分析仪"纳入ETCH等离子体蚀刻PE-100单元。这种最先进的装置能够连续测量晶圆在被蚀刻时的表面均匀性和粗糙度。ETCH PE-100的灰化操作也提供了可靠性和可重复性。等离子体粉碎器用高温等离子体处理晶片，以快速有效地去除聚合物基残留物。这对于制造超细粒子、纳米粒子以及半导体工业中微电子产品的其他先进部件至关重要。通过等离子体蚀刻工艺产生的高温可以被精确地反复调节，确保样品经历均匀的蚀刻或灰化。电源外包是可调的,允许更快的重复循环,"实时温度控制"可确保保持准确和稳定的温度。ETCH PLASMA ETCH PE-100还提供高度自动化的自我诊断,允许高度的预防性维护,提供了一种智能的方式来减少维护和提高性能时间,以及监控一致流程的运行性能。ETCH PE-100的其他特点包括根据具体要求可选择各级蚀刻和灰化配方，连接多个处理单元的蜂窝模式，以及一整套可消耗物品，以确保高性能晶圆处理。