二手 PLASMA ETCH PE-200 #9103920 待售

等离子体蚀刻PE-200等离子体蚀刻设备是一种先进的等离子体蚀刻器/灰化器，设计用于平面电介质层的蚀刻/灰化。该系统用于电子工业中低体积等离子体相关工艺。该单元能够在蒸气相蚀刻、蒸气相灰化、表面清洁、平板蚀刻等应用中提供精度、均匀性、可重复性、准确性和清洁性。利用多级、低压、低功率的蚀刻工艺,PE-200可以在各种材料上实现非常均匀的蚀刻速率和精确的蚀刻深度。等离子体蚀刻PE-200提供了一个可以容纳200毫米晶圆或大块的大面积腔室。采用高性能电极控制，确保工艺结果的均匀性和重复性。此外,PE-200还提供精确的控制,在处理过程中具有压力、温度和功率监控等功能。该机器还包括一个先进的气体分散工具，以便更有效地将蚀刻气体输送到晶圆堆栈。资产的人性化设计简化了操作，配有一个大型彩色液晶触摸屏显示屏，可方便编程和监控各种工艺参数。控制模型包括一个经常使用的流程配方以及保存、编辑、传输、召回和恢复数据的能力的数据库。PLASMA ETCH PE-200还配备了一个排气过滤器设备，以降低排气颗粒水平和防止材料积聚，以及一个智能气体冷却系统，以更好的气体均匀性和温度控制。PE-200为包括大型组件在内的最具挑战性的蚀刻/灰化应用程序提供卓越的性能和控制。对于任何需要精确蚀刻/灰化过程以及节省成本和提高效率的环境,该单元都是一个极好的选择。