二手 PLASMA PECS 600 #9235333 待售

PLASMA PECS 600
ID: 9235333
优质的: 2012
Plasma clean system 2012 vintage.
PLASMA PECS 600是为半导体和其他微电子应用开发的计算机控制蚀刻器和asher。它是一种高效、精确的工具,能够为可靠的蚀刻和灰化工艺提供广泛的蚀刻化学方法。PECS 600由一个气体面板和PLASMA腔室组成,两者都设计为协同工作,提供统一的蚀刻和灰化工艺。燃气面板由一个后燃气面板、两个侧燃气面板和一个前燃气面板组成;这些面板允许用户调整过程中使用的蚀刻化学的流速和压力。腔室提供基板的均匀蚀刻和灰化,并且能够针对各种晶圆尺寸进行调整。PLASMA PECS 600还采用了计算机控制系统和软件,旨在提供简单易用的工艺参数控制。该系统允许用户在各种配方中进行选择,从而确保准确的流程结果。软件还允许用户实时监控和调整流程参数,进一步提供增强的流程能力。PECS 600能够提供快速、可重复、高质量的结果。它旨在使用户精确控制蚀刻和灰化过程,并使用一系列蚀刻化学方法。该系统还允许操作员方便地访问可以调整以优化蚀刻速度和均匀性的工艺参数。PLASMA PECS 600是一种高效的蚀刻器/asher,具有先进的软件和硬件,可提供可靠、精确的过程控制。其操作简单、蚀刻/灰化效果均匀、蚀刻化学种类广泛,每次都能提供可靠的结果,成为半导体和微电子应用的理想工具。
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