二手 PLASMA SCIENCE PS 0500D #142226 待售

ID: 142226
晶圆大小: 12"
Parallel plate etcher, 12" (8) Stacks.
PLASMA SCIENCE PS 0500D是一种高质量的蚀刻器/asher,旨在实现广泛的精密微加工和精加工任务。利用先进的蚀刻/灰分技术,PS 0500D产生了详细的特征和复杂的表面饰面。该蚀刻器利用高密度等离子体(HDP)电弧智能地在各种材料基板上创建稳定的微米级蚀刻/灰分工艺。该单元提供了广泛的蚀刻/asching参数和电压/频率控制,以确保精确和可重现的结果。除了其质量蚀刻/灰分功能外,PLASMA SCIENCE PS 0500D还具有利用同轴或三磁场(TMF)放电配置中的多种气体的强大通用性。可以根据材料基板、几何形状和其他因素来调整蚀刻/asching过程。结合其先进的HDP电弧,PS 0500D经过精心设计,可提供尽可能高质量的微加工和精加工。最后,PLASMA SCIENCE PS 0500D提供了无与伦比的安全性和便捷性.它采用自动调节器设计,当机器检测到潜在危险气体泄漏或温度相关问题时自动关闭机器。此外,PS 0500D带有易于使用的数字控制系统,允许每个蚀刻/asching过程的精确和可重现的参数。这些特性使得PLASMA SCIENCE PS 0500D一个极其可靠和高效的蚀刻器/asher。
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