二手 PLASMA ST 350 #293774484 待售

PLASMA ST 350是为先进半导体制造工艺而设计的高性能蚀刻/asher设备。这款尖端设备结合精密蚀刻和灰化能力，满足半导体行业领先研发需求。ST 350注重过程的可重复性、均匀性和可靠性,是一种广泛应用的通用工具,包括蚀刻、降序、抗剥离和清洁过程。PLASMA ST 350的核心是其先进的PLASMA生成和控制系统。该装置采用高功率射频发电机，可产生稳定的等离子体，用于精确的材料去除和表面改造。这种先进的PLASMA源使机器能够在各种基材上实现高蚀刻速率和均匀蚀刻轮廓，包括硅、二氧化硅、氮化物和聚合物。该工具的腔室由高质量的材料制成，以确保最小的颗粒污染和最大的工艺纯度。该室配有气体输送系统，可精确控制工艺气体和流速，确保每个应用的最佳工艺条件。该室还具有温度控制功能，以保持一致的工艺条件，防止高温过程中基板损坏。ST 350提供了一系列的蚀刻和灰化能力，包括反应性离子蚀刻（RIE）、等离子体蚀刻和微波等离子体灰化。这些功能使用户能够以高选择性和对基板的最小损害实现精确和受控的物料去除。该资产还具有自动端点检测模型,该模型提供有关流程进度的实时反馈,从而能够精确控制蚀刻深度和一致性。PLASMA ST 350的关键特性之一是其用户友好的界面和软件控制设备。该系统配备了触摸屏监视器，使操作员能够轻松实时监控和调整流程参数。软件控制单元为各种应用程序提供预先编程的配方,并灵活地创建针对特定研究需求的自定义流程。除了先进的技术能力外,ST 350的设计还考虑了生产力和成本效益。该机器采用高通量设计,能够快速处理多个样品,最大限度地减少停机时间,并最大限度地提高生产效率。该工具还具有较低的拥有成本,可消耗部件最少,维护要求简单易行。总体而言,PLASMA ST 350是一种最先进的蚀刻器/asher资产,为各种半导体应用程序提供先进的PLASMA处理功能。凭借其精确的控制、可靠性和多功能性，ST 350是半导体制造商、研究机构和希望留在半导体加工技术前沿的先进技术开发实验室必不可少的工具。