二手 PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV #9068922 待售

PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV是为半导体和MEMS器件制造设计的全自动蚀刻和灰化设备。系统配备了最先进的环境控制站，允许用户精确调整流程参数。该机的设计保证了精确的温度控制、精确的流量控制以及用于精确蚀刻和灰化过程的气体输送。该单元由三检测器、32通道和32位实时嵌入式处理器组成,可实时监控和调整过程。机器最多可操作16个蚀刻/蚀刻/烘烤/灰分和16个清洁/蚀刻/蚀刻和0-16个清洁/烘烤/烘烤烘烤周期，使用户能够快速、精确地执行MEMS设备制造所需的过程。该工具还具有许多过程控制选项,使用户能够精确控制过程参数,如压力、温度、流量和气体成分。此外，资产能够通过用户创建的流程配方自动控制参数。其先进的实时流程监控功能让用户能够连续实时监控和调整流程。该模型可用于进行包括湿蚀刻、干蚀刻和物理气相沉积在内的各种去除材料的蚀刻和灰分工艺。该设备提供了卓越的工艺控制,提高了均匀性,缩短了周期时间.此外,它的高精度控制和可重复性使其成为MEMS设备的理想选择。该系统还提供了广泛的安全功能，包括逆流和过压保护、过温保护以及在断电时自动关闭。其内置的自校准特性进一步提高了机组的精度。凭借其符合人体工程学的设计和用户友好的界面，该机器为执行蚀刻和灰化过程提供了可靠高效的平台。DES 206-254AV蚀刻和灰化工具非常适合半导体和MEMS器件的制造，提供精确的过程控制和改进的均匀性。其先进的安全功能提供了最大的保护,而直观的界面使资产易于使用。该模型具有快速的工艺速度和可重复的结果，是一种可靠且经济实惠的蚀刻和灰化工艺选择。