二手 PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV #9280793 待售

PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV etcher/asher是一种专用于工业加工的干式蚀刻器，用于蚀刻和灰分专用材料。它能够加工有机、金属和介电材料，具有严格的精度和可重复性，为许多工业应用提供了工具。该设备围绕等离子体源设计，产生高压电能，分解等离子体室内的气体分子，以提供反应性原子和分子的组合，蚀刻或烧蚀材料。该系统提供对蚀刻速率、蚀刻深度、蚀刻均匀性和其他参数的高度精确控制。该单元由四大部件组成，包括电源、气体输送机、真空室和样品支架。电源是二极管泵浦的频率增加了三倍的YAG激光器，在3.75 μ m的波长下产生高达100瓦的功率。激光由一组专门设计的透镜聚焦，气体通过透镜进入腔室，产生高功率的等离子体。气体输送由气体质量流控制器提供，使操作员能够精确计量被添加到腔室的气体量，从而控制蚀刻速率等特性。真空室为圆柱形不锈钢室，直径254mm，深度206mm。腔室设有法兰真空端口，允许腔内高度真空控制，并提供高度可重复的蚀刻或灰化环境。室内有一个扫描电子显微镜，连接到气体质量流控制器，进一步允许精确控制蚀刻速率和其他参数。样品支架是一个机械手臂，由一个可调电枢固定到位，它允许操作员在等离子体腔内精确定向样品。采样器支架采用阳极氧化铝制成，提供坚固轻巧的结构，具有很高的耐热性。工具的控制电子设备可帮助移动样品支架,从而实现手臂的精确移动和样品的精确蚀刻。DES 206-254AV 蚀刻器/asher是一项全面的蚀刻和烧蚀资产,为许多工业和研究应用提供高性能。通过提供对蚀刻速率、蚀刻深度和蚀刻均匀性的精确控制,该模型能够为广泛的工业过程提供卓越的结果。