二手 PLASMA SYSTEMS DES 212-304AVL III #293641514 待售

ID: 293641514
Asher.
PLASMA SYSTEMS DES 212-304AVL III是用于生产光伏(PV)太阳能电池的蚀刻和灰化设备。该系统是采用标准F类气体供应的全自动反应离子蚀刻/灰分装置。机器可以操作和维护,最少需要人工干预.DES 212-304AVL III提供400mm x 300 mm的最大腔室尺寸,最长处理时间为15分钟。该工具适合于大多数光伏太阳能电池的处理,因为它的电源非常适合于此设备通常需要的高纵横比深度。资产中使用的真空室为蚀刻和灰化提供了最佳环境,用户友好的真空模型以较高的生产速度提供了恒定和可重复的结果。该设备还提供低粒子发射,其粒子陷阱位于腔室顶部,便于进入和监测。PLASMA SYSTEMS DES 212-304AVL III配备了两个用于正常等离子体蚀刻的2.4kW微波源和一个用于反应性离子蚀刻的2.4kW灯丝控制源。强大的石英室可承受高达1100 °C的温度和高达0.5 Torr的压力,从而确保系统的高效运行。其坚固的加工室具有独特的尖端几何形状,增加了吞吐量,并在整个腔室表面提供了均匀的响应。DES 212-304AVL III还利用简单、用户友好的计算机界面,允许用户设置、监视和控制所有单元参数。这样可以确保以最精确和最可靠的方式完成所有作业。该机器易于操作而不会中断生产过程,具有多种内置的安全功能,包括紧急重置按钮和诊断程序,可提醒用户注意任何可能的问题。总而言之,PLASMA SYSTEMS DES 212-304AVL III是一种可靠而强大的蚀刻和灰化工具,为光伏太阳能电池的生产提供了完美的解决方桉。凭借其人性化的界面、稳健的构造、高速度、低粒子排放,资产是生产专家的理想选择。
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