二手 PLASMA SYSTEMS DES 212 #9111271 待售

PLASMA SYSTEMS DES 212
ID: 9111271
优质的: 1981
LTA Systems 1981 vintage.
PLASMA SYSTEMS DES 212是专门为微型和纳米级应用而设计的蚀刻器和asher设备。它是一个多功能系统,允许用户以超细厚度蚀刻、粉刷和/或沉积材料。PLASMA SYSTEMS DES-212由主处理器单元组成,主处理器单元包含一个中央处理器,另外还有四个可独立于处理器单元使用的外围设备单元。这些外围设备是喷头、PMMA和静电卡盘。每个单元都有一个特定的功能可供处理。处理器单元包含一个微控制器板和一个图形用户界面(GUI),允许用户轻松控制该单元。它包含以太网端口和视频输出,便于使用。软件包包括兼容MS Windows的软件和驱动程序,加上电路设计者。电路设计者允许输入各种参数,如蚀刻、灰化器或沉积类型,以及将使用的所有晶片的大小和形状。喷头是专门为蚀刻和asher表演而设计的。该喷嘴可旋转以精确控制工艺参数,温度可精确控制。这一机制允许金属有机化学气相沉积(MOCVD)、离子束蚀刻(IBE)和静电喷涂(ESP)等过程。PMMA模块向处理区域提供PMMA薄膜。膜被加热和冷却,以方便蚀刻和灰化过程。加工的热量和压力由微控制器板精确控制。静电卡盘用来紧握晶片并将其固定在加工中心。此组件对于精确控制蚀刻和灰化过程至关重要。静电卡盘也可以调整,以说明不同晶片的大小和形状。DES 212对于那些需要精密蚀刻和灰度控制来加工超细材料的人来说是一个极好的解决方桉。该机设计紧凑,每个部件都坚固可靠,运行多年。软件和硬件易于配置,并完美集成到任何生产线中。该工具非常易于使用,适用于所有应用,包括微观和纳米规模的蚀刻和asher控制。
还没有评论