二手 PLASMA SYSTEMS DES 212 #9123081 待售
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PLASMA SYSTEMS DES 212是一款先进的蚀刻器和asher，设计用于实验室和生产，广泛的行业和应用。该蚀刻器和asher具有坚固的结构，设计用于在各种恶劣的工业环境中可靠的操作。它配置性强，适用于各种工艺，如蚀刻、灰化、等离子体清洗和沉积。PLASMA SYSTEMS DES-212采用模块化和可扩展的工作站布局进行设计,以便在任何过程中定制安装。等离子体发生器和腔室连接到一个主控制台，有两个温度控制组件。温度可以针对不同的工艺应用进行调整。可以使用多种工艺气体，包括SF6、CO2、O2、N2、Ar等。设备可以RIE或BAT（批处理）模式运行。DES 212支持各种各样的过程变量,并且可以针对特定的过程要求进行编程。该系统包括数字读出和计算机控制的数据采集，以改进过程控制和过程优化。嵌入式软件可实现自动控制和数据收集,以实现更精确的过程控制和进一步优化。该装置设计用于精确和可重复的过程控制，具有广泛的参数设置，包括电压和电流偏置、等离子体和蚀刻气流、过程温度、压力、湿度、蚀刻和清洁循环时间等等。工作室的温度均匀性由专利回流管理机维持。该工具还配备了内置的安全资产，具有防止人员面临风险的联锁装置。DES-212是高通量批处理的理想选择,并且与包括单维和多维处理容器在内的各种处理室兼容。它提供了一系列改进了传统技术的功能,例如通过复杂的计算机控制数据采集增强了过程控制,通过回流管理改进了过程一致性,使用直观的用户界面控制更易于使用,以及通过内置互锁模型提高了安全性。
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