二手 PLASMA SYSTEMS DES-220-459-AVL #293618275 待售
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PLASMA SYSTEMS DES-220-459-AVL是专门为半导体工业设计的最先进的蚀刻器/asher设备。它配备了高频、多频等离子体发生器,可以在潜在的侵略性底物蚀刻水平上产生各种各样的等离子体。DES-220-459-AVL产生等离子体的能力是独一无二的,能够有效地针对不同的材料表面进行定制,从而在保持表面完整性的同时实现最大的蚀刻速率。这使得该系统非常适合用于制造复杂、最先进的集成电路。PLASMA SYSTEMS DES-220-459-AVL配备了内置的电源选择性材料(PSM)选择器,可以对蚀刻和灰化中使用的材料进行高精度控制。这有助于在制造集成电路和其他组件时提供更高的准确性和灵活性。电源选择器还提供了为每种材料选择最佳参数的灵活性,提高了工艺的有效性。DES-220-459-AVL具有强大的射频发生器和高级控制器单元。射频发生器提供从250 kHz到1 MHz的频率调整和无线电调制,允许在最佳水平上蚀刻不同类型的材料。高级控制器单元能够充分调整流程参数和条件,从而提高流程的灵活性和准确性。该单元还包括负压基板支架和气体分配机。负压基板支架将基板牢固地固定到位,有助于确保精度和防止颗粒进入蚀刻室。气体分配工具提高了气体均匀性,最大限度地减少了蚀刻缺陷的发生,有助于进一步提高工艺质量。PLASMA SYSTEMS DES-220-459-AVL是一个功能强大的蚀刻器/asher选项,可提供无与伦比的精度、灵活性和控制。它可用于创建具有优异效果的复杂集成电路,对于那些在蚀刻和灰化过程中需要最大性能的行业人士来说,它是一个理想的选择。
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