二手 PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3 #9179429 待售
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PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3是一种最先进的蚀刻/asher设备,旨在提供一致、高质量的蚀刻和灰化结果。该系统提供强大的等离子体生成和控制能力，使其非常适合半导体晶片蚀刻、电子封装和氧化铝基板等各种应用。MPT-IC-3配有高功率的肩部阴极电弧源、可靠的离子源和支持等离子体蚀刻和灰化过程的微波发生器。该单元能够提供统一的蚀刻与可靠和快速的过程，可以调整以获得最佳性能。机器还提供各种控制选项，允许用户根据自己的特定需求定制等离子参数。PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3还包括手动和自动压力控制工具，以帮助确保等离子体的稳定性。资产的多功能性使得它可以用于不锈钢、铝、硅、钨等众多材料。MPT-IC-3还配备了供气体溷合物使用的高温气体面板和先进的温度控制模型，以保持基板温度在一定范围内。枪管室设计有集成光学设备，用于处理时查看。系统提供了包括蚀刻时间、腔室压力、射频功率等参数在内的一系列工艺参数。可以调整这些参数以优化不同类型的蚀刻和灰化过程的性能。该装置还包括一个可选的气体喷射机，以确保对各种加工气体进行精确的浓度控制。为便于使用，控制单元提供了直观的界面和独特的触摸屏界面，以控制各种蚀刻/ashing等工艺参数。PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3得到了公司在等离子体蚀刻技术和客户支持方面的丰富经验的支持。该工具在安全性、性能和可靠性方面也达到了业界最高的标准,并附有长期保修,以增加您的安心。
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