二手 PLASMA-THERM VLR700G1 #9352047 待售

PLASMA-THERM VLR700G1蚀刻器和asher设备为高精度蚀刻和灰化工艺提供了一个完整、精确的解决方桉。它提供了一个功能强大的单室蚀刻和灰化平台，配备了功能强大的可编程脉冲等离子体源。该系统旨在最大程度地提高整个蚀刻/灰分区域的均匀性,采用双重烘烤技术来减少蚀刻和灰分的时间和成本。双能量脉冲源确保快速的边缘剖面和快速的表面清洁。高灵敏度控制系统可实现精确的电源传递和控制所有蚀刻/灰烬参数,并实现可重复、可靠的结果。板载软件中可定制的配方生成允许可重复的过程和精确的结果。单元中的多室射频功率传递允许高效且可重现的蚀刻或灰烬深度。高精度加热过程还会在样品内产生控制良好且已知的扩散。等离子体室内复杂的气体分配过程进一步确保了可重现的结果，以及清洁的蚀刻和灰烬条件。该机还设计用于优化工艺参数的利用率和清晰度。图形用户界面可实现简单直观的工作流程配置,从配方生成到底物制备和过程控制。数据收集和过程分析工具可创建全面、一致的控制调度和监控。最后，通过增强工艺控制和精确的结果，VLR700G1蚀刻和灰化工具是解决现代蚀刻和灰化需求的理想方法。它为蚀刻和灰化工艺提供了一个高效、经济和可靠的解决方桉。