二手 PLASMATECH RIE-80 #293592300 待售
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PLASMATECH RIE-80是一种蚀刻/灰化器,通常用于蚀刻和灰化半导体晶片。这套先进的系统结合了先进的流程和技术,使其成为工程师、专业人员和培训中工程师的热门选择。RIE-80建立在热稳定硬件和先进的易于使用的控制软件的基础上。它配备了3腔感应动力等离子体技术,使其能够在广泛的应用和材料中蚀刻、粉刷和沉积材料。整个系统的自动化计算机控制为用户提供了无缝的体验,确保每一个周期都有最高质量的结果。感应源功率在20至200瓦之间,由数字激光功率控制。这样可以确保精确和一致的蚀刻/灰度。PLASMATECH RIE-80还配备了3维数字气体歧管和蚀刻材料摄入器,可以提高效率和更快编程。它内置了自动监控和采样组件,以实现最佳性能。此组件确保参数和设置始终在可接受的范围内,并且不会超出。RIE-80进行的蚀刻轮廓浅,表面粗糙且不均匀,长宽比高,在现代半导体生产过程中都是可取的。该系统还遵守严格的环境和安全要求,包括自动关闭炉、温度均匀和能耗低。虽然PLASMATECH RIE-80以其高质量的蚀刻和灰化工艺而广为人知,但其用途并不止于此。由于它的灵活性和多功能性,它可以用于各种其他过程,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、溅射甚至反应性离子蚀刻(RIE)。总体而言,RIE-80是一个可靠、通用、精确和高效的蚀刻器/asher解决方桉,每次都能提供可靠和精确的结果。它是先进的硬件和软件,是专业人员和培训工程师的理想选择。
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